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반도체 공정장비 개론

임준우

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자료유형	단행본
서명/저자사항	반도체 공정장비 개론/ 임준우 [외] 공저.
개인저자	임준우 임준우 홍상훈 허영헌 임승하 성홍석 김덕영
발행사항	서울: 복두출판사, 2013.
형태사항	216 p.: 삽화; 26 cm.
대등표제	Basic of Semiconductor Processing Equipment
ISBN	9788980006984
일반주기	공저자: 홍상훈, 허영헌, 임승하, 성홍석, 김덕영
서지주기	참고문헌 : p. 216
분류기호	569.4
언어	한국어
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